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很多拋光液使用者并沒有清楚的意識到這一點(diǎn),他們往往對拋光液內(nèi)的粒度分布,粒徑大小,均勻性,配比等感興趣,而忽略了一個(gè)重要的因素-PH值對整個(gè)液體狀的的影響。
在化學(xué)性質(zhì)的液體中,PH值的大小影響著液體性能的穩(wěn)定。拋光液一般在微酸或者微堿的時(shí)候,對工件的拋光效果比較好,所能達(dá)到的表面粗超度小。當(dāng)PH值偏堿性時(shí),粗超度變大。所以在配置這種液體的時(shí)候,我們不能忽略這一點(diǎn),一定要反復(fù)試驗(yàn),取得一個(gè)比較好穩(wěn)定值。
拋光液的PH值是變化的。這是因?yàn)閽伖庖簳?huì)隨著時(shí)間的變化而變化。由于某些工件在拋光時(shí)產(chǎn)生水解作用, 在實(shí)際拋光過程中拋光液的pH 值會(huì)隨拋光時(shí)間不斷變化。在每次添加拋光液后, pH 值的變化過于劇烈。因此一開始先每隔15s 測量一次, 之后每隔1min 測量一次, 從而可得出不同初始pH 值的拋光液在拋光過程中pH 值的變化規(guī)律。在對不含有堿金屬氧化物, 不會(huì)與水產(chǎn)生水解反應(yīng), 在拋光過程中拋光液的pH 值基本保持不變, 所以其拋光方法也不同。
當(dāng)拋光液的PH值過小時(shí),溶液呈酸性狀態(tài),一般拋光效果不太明顯;而當(dāng)溶液的PH值過大時(shí),溶液呈堿性狀態(tài),腐蝕的效果往往比酸性效果好。
拋光液的化學(xué)拋光過程其實(shí)就是溶液對拋光元件表層的化學(xué)腐蝕作用,主要成分是二氧化硅,占整個(gè)比例的百分之七十,其余成分為堿金屬氧化物,當(dāng)拋光液為中性時(shí),主要的化學(xué)作用表現(xiàn)為2InSb+6[O]→In2O3+Sb2O3,表面的拋光效果似乎不太明顯。
當(dāng)拋光液的PH值為9.6時(shí),拋光液的機(jī)械作用遠(yuǎn)大于化學(xué)作用,去除速率比較大,導(dǎo)致拋光后拋光片表面產(chǎn)生高損傷層,粗糙度比較大;當(dāng)拋光液的 pH值增大為10.84~11.34時(shí),機(jī)械作用和化學(xué)作用達(dá)到一種對等狀態(tài)時(shí),此時(shí)化學(xué)作用的均勻性好,使得表面張力小,質(zhì)量處理的一致性好,可以得到良好的表面拋光效果;當(dāng)pH值大于11.67時(shí),SiO2水溶膠在強(qiáng)堿的作用下,生成易溶于水的硅酸氨,使得硅溶膠中的SiO2顆粒不能起到磨削作用,變成透明的液體,此時(shí)機(jī)械作用基本失效,拋光以化學(xué)作用為主,表面蝕坑增多,使得表面粗糙度重新增加。
拋光液PH值是拋光元件表面粗糙度的重要影響因素,他是拋光元件化學(xué)拋光的重要組成部分。事實(shí)證明,當(dāng)拋光壓力、溫度等外界因素相匹配時(shí),拋光時(shí)的比較好PH值應(yīng)操作在11.25左右,這時(shí)候化學(xué)拋光和機(jī)械拋光的作用相平衡,拋光效果比較好!
所以,除了要對液體初始PH值進(jìn)行檢測試驗(yàn)外,我們還需對拋光液會(huì)隨時(shí)間的變化而變化進(jìn)行監(jiān)測。觀察它變化的規(guī)律,找出每個(gè)工件適合拋光的比較好狀態(tài),這樣才能配制出高精密高效率的拋光液出來。